Moore’s Law: 浓缩就是精华!(转)

小蜜蜂7年前 (2019-06-12)半导体技术精帖3099

本文转自芯苑,ic-garden.cn (由于芯苑会经常关闭站点,故转载存留) 

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        但凡对半导体这个行业有点了解的,应该都懂摩尔定律(Moore's Law),这也是个魔咒。这是70年代Intel创始人Gordon Moore在60年代提出来的黄金定律,被业界遵循为黄金定律,也是从那个年代开始我们世世代代的半导体人都为之疯狂,这就是为什么这个行业的人压力那么大的原因。

--Small is Beautiful!浓缩就是精华!

        说起摩尔定律,大家一定比我会背:每18个月(后来修正到18~24个月),单位面积的晶体管数目需要增加一倍,当然换算到Cost就是降低一半了,曾经有人无聊的算过一笔账,如果按照摩尔定律的速度,现在那些奔驰宝马也就几分钱。但是你知道这个定律的描述如何和我们的0.5um、0.35um、0.25um....90um、65um、45nm、28nm等关系吗?我们每个节点都是一个generation,而每个generation如何实现面积减小一半?因为我们需要面积缩小一半,也就是50%,那样边长需要缩小多少?是不是70%?这样才能70%*70%从而达到50%的面积节省,所以就有了0.5um*70%到0.35um,0.18*70%=0.13um就这么来的,简单吧。

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        当然实际过程中,你们也经常会看到从0.18um会到0.16um,甚至有0.15um,然后才到0.13um,对吧?为什么不直接到跳0.13um呢?因为从0.18um直接到0.13um跨度太大,很多技术挑战不能一下子实践,所以业界都是摸石子过河,先一步步90% shrink,通过shrink发现工艺过程中的问题,逐个解决再最终完成70% shrink。比如当年的0.35um到0.25um的变化就是最经典的,可以说出一箩筐的问题(STI, Poly, GOX, Poly, TiSix都变了)。从0.18um shrink到0.13um最经典的也是OD SiN的pull back,再往下shrunk还有SiN linear等等 (这些我们后面讲flow再跟大家分享)。其实大家自己去看看你们公司的各technology的flow加上你们的聪明才智,应该都能理解的。这就是为什么我让新人学习flow一定要让他们横向比较给我讲为什么。

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