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LPCVD多晶硅（Poly）的形貌和显微结构研究
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6年前
(2021-01-17)
半导体技术资料
9429
0
研究了低压化学气相沉积（LPCVD）多晶硅薄膜的形貌和微观结构与沉积条件的关系。 &nbs…
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