2021年1月24日 - 芯知博客

Implant SIMS笔记(离子注入机二次离子质谱笔记)

小蜜蜂5年前 (2021-01-24)半导体技术资料87940

Implant SIMS笔记(离子注入机二次离子质谱笔记)

首先，我们来看下什么是SIMS？技术原理（https://w…

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