半导体行业入门学习笔记分享
硅片的制备：生产半导体级的硅（SGS）1. 用碳加热硅石制备冶金级的硅 SiC(s)+SiO2(s)——Si(l)+SiO(g)+CO(g)2. 将硅提纯生成三氯硅烷 Si(s)+3HCI(g)——SiHCI3(g)+H2(g)+加热3
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