后FinFET时代,晶体管将走向何方?
编者按:进入最近两个月,因为三星3nm的大进步,还有台积电宣布在5nm乃至3nm进展,2nm规划,这就引发了大家对晶体管未来的担忧。那么究竟到了1nm之后,制程世界需要怎样的支持?未来的工艺技术又会走向何方?我们来看一下IMEC专家的分享。FinFET晶体管结构是当今半导体行业的主力。但是,随着微缩的继续,人们不希望出现的短沟道效应需要引入新的晶体管结构。在本文中,imec的3D混合微缩项目主管J
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