Implant SIMS笔记(离子注入机二次离子质谱笔记)
首先,我们来看下什么是SIMS? 技术原理(https://www.ma-tek.com/zh-cn/services/index/Pro_category_06)材料经由带有能量的入射离子轰击而产生二次离子,二次离子经加速后进入二次离子质谱分析系统运用电、磁场的偏转将离子按不同质量分
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