芯片制造工艺问答037:PHO recipe的Focus设定值往正"+"调整后PR profile会有何影响? Ans positive: 往正调整会造成所谓的”削头”的情形,如下图所示 negative:往负调整会造成所谓的”解不开”的情形,如下图所示 工艺技术问答 2021年10月03日 88 点赞 0 评论 3037 浏览