一张图看穿PIE,大家来挑战 (转) Flow: Well-->GOX-->POLY-->LDD/Halo-->Spacer-->S/D_IM-->S/D_Anneal 制造工艺技术 2019年07月13日 56 点赞 0 评论 8806 浏览
Spacer/侧墙制程-由来已久! (转) 本文转自芯苑,ic-garden.cn (由于芯苑会经常关闭站点,故转载存留)在讲Spacer的Process理论之前,先讲下Spacer的作用,为什么要有这么个结构?这样你们才能永远记住它。我们这些80后做半导体PIE的一出道就接触的是1.0um以下,我们称之为亚微米制程(到0.25um以下,我们称之为深亚微米, deep sub-micron)。而我们在亚微米以及深亚微米时代随着栅极长度/沟道 制造工艺技术 2021年07月14日 150 点赞 0 评论 6017 浏览