热门图集

纳米集成电路制造工艺(第2版)张汝京
纳米集成电路制造工艺(第2版)张汝京
图解芯片技术
图解芯片技术
芯路 一书读懂集成电路产业的现在与未来
芯路 一书读懂集成电路产业的现在与未来
半导体制造工艺基础
半导体制造工艺基础

CMOS到底是怎么工作的 ?

在现代集成电路设计中,CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor,互补金属氧化物半导体)是最基本的单元,我们在新闻中经常会遇到这样的描述“在这个1平方厘米的芯片上,集成了10亿个晶体管”,其中一个最基本的CMOS就是一个晶体管。我们这一期就了解一下关于CMOS的工作原理。由于CMOS是一个比较复杂的一部分,所以我只是从原理上来和大家聊,不涉及到任何物理

浅析GaAs、GaN、SiC三种化合物半导体的产业布局和未来趋势 (转)

化合物半导体是指由两种及以上元素构成的半导体材料,目前最常用的材料有GaAs、GaN以及SiC等。作为第二代和第三代半导体的主要代表,因其更接近绝缘体,在适应高温(500℃以上)、高压(600V-1000V)、高频、高电流密度场景及低损耗方面具有明显的优势,所以在卫星、高铁、雷达、发电、输变电、照明等领域中有着不可替代的地位。目前,虽然近年来中国在化合物半导体领域有突破性的进展,但国外企业依然是化

微影制程之Overlay控制(转)

本文转自芯苑,ic-garden.cn (由于芯苑会经常关闭站点,故转载存留) 乘着兴致,把黄光讲完吧,估计我也就懂这些了,我没讲到的期待有人能够补充发表,感谢。其实光刻的重要衡量参数就两个,一个是特征尺寸(CD),一个是对位控制(Overlay)。今天我们讲解的东西就是对位,顺便讲下光罩。1、首先讲对位(Alignment):现在的IC制造工艺非常复杂,需要用到三十几层光罩,除了第一层

去A公司的感悟

今天有幸去了A公司,本身是为了去认识一下那里的人(做一些建交),和他们熟悉一下,方便日后更好的工作;顺便进他们的fab看看,看他们smif的机台是怎么跑的。这次给我的感触很深。        生产Fab:整个生产线比较小,diff区域里面躺着laser mark,imp 和 furn

专题-1(Adv): Unit Process–Lithography (微影制程) (转)

 本文转自芯苑,ic-garden.cn (由于芯苑会经常关闭站点,故转载存留) 最早的《专题1》讲的是光刻入门,其实就是个概念。后面逐渐各项制程都慢慢进入第二轮稍微深入一点,希望能够把书本理论讲完吧。黄光我做的比较少,还是以前调机的时候David天天逼着我去搞Nikon G7,还要拿个摇杆手动对位,X,Y, Theta无聊死了~~不过老板每次都要考核,所以还是好好学习吧,至少

专题-6: Unit Process–Implantation (离子植入) (转)

本文转自芯苑,ic-garden.cn (由于芯苑会经常关闭站点,故转载存留) 今天比较累,10点刚下班。还是写吧,马上要周末了。主题依然是单向工艺,离子植入(Ion Implantation)。我们一直在讲P-Si和N-Si,里面掺了硼或者磷。那么这些掺杂的东西怎么进去的?早期都是扩散进去的,把掺杂的东西涂在wafer表面,然后丢进管子。这个很古老,而且剂量/深度什么的都不好控制。后来

专题-5: Unit Process–Diffusion(扩散) (转)

本文转自芯苑,ic-garden.cn (由于芯苑会经常关闭站点,故转载存留)     很久没有讲制造了,今天继续吧。发现我这个人老没逻辑了,想起一出是一出,大家多多包涵或给我建议。今天的主题是扩散(diffusion),也有说炉管的,因为这个process都是要用到炉管的(那时候开玩笑说我是烧炉子的,就是干这个的。我刚毕业做过几个月这个,因为没有

专题-4: Unit Process–Etch(蚀刻) (转)

编者注: Etch是PIE不得不好好学习的课程,玄机太多了。我曾经花太多时间研究这玩意,结果连皮毛都碰不上,每次跟人家讨论还是云里雾里~~~感谢Joph Chen,曾经的ETCH专家。如果把黄光比作是拍照,那他就是完成了底片的功能,还需要蚀刻来帮忙把底片的图像转移到Wafer上。蚀刻通常分为Wet Etch(湿蚀刻)和Dry Etch (干蚀刻),湿蚀刻主要各向同性蚀刻(Isotropic),所以