炉管(Furnace)设备工艺经验8年笔记 Furnace IntroductionØFurnace concept（炉管基本介绍）ØFurnace Type （炉管的分类）ØWafer transfer system （炉管传送系统介绍）ØProcess application(工艺应用); AP and LP Recipe body ；Furnace Gas Flow; Profile log（温 制造工艺技术 2021年01月30日 382 点赞 1 评论 12195 浏览
