炉管(Furnace)设备工艺经验8年笔记

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本文分类：制造工艺技术
本文标签：炉管 Furnace 笔记 TEL ASM NAURA 工艺笔记 Process Wetoxide Dryoxide GateOxide TEOS Poly Nitride LPCVD Diffusion 扩散 HTO SiO2 Alloy Wafer Pressure Temperature Recipe Profile ThermalOxide
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发布日期：2021-01-30 07:04:16
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评论列表共有 1 条评论

: 2822497769 3年前回复TA
一看就是fab出来的人，内容比较贴近生产，细致，信息量足！

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