炉管
半导体晶圆制造基础知识
1. ZERO OXIDE 的作用是什么？第一是为后序的ZERO PHOTO时做PR的隔离，防止PR直接与Si接触，造成污染。PR中所含的有机物很难清洗。第二，WAFTER MARK是用激光来打的，在Si表面引致的融渣会落在OXIDE上，不会对衬底造成损伤。第三是通过高温过程改变Si表面清洁度。2.
ASM Furnace,先晶半导体立式炉管介绍（含ppt附件）
先晶半导体设备(上海)有限公司是一家外商独资企业，隶属于ASM International N.V.它的总部设在比尔特霍芬，荷兰。ASM国际及其附属公司通过其在美国，欧洲，日本和美国的工厂提供晶圆加工，组装和包装的生产解决方案。公司拥有强大的技术基础，一流的生产设备，合格的员工队伍和训练有素的战略性分销网络。ASM中国有限公司成立于2001，专注于前端半导体设备市场在中国。WIP StationW
芯片制造工艺问答014：SiN CVD dep时炉管各部分的温度别控制在什么范围? 为什么如此?
Ans Temperature control divided to three zone:
bottom, center, upper, since gas flow from bottom, in order to compensate the
difference of gas concentration, B-zon
