芯片制造工艺问答004：硅原子的Lattice constant为何? 换算成表面浓度, 体积浓度各是多少?
Ans Si Lattice Constant = 0.543 nm每个单位晶格内有 4 +
6*1/2 + 8*1/8 = 8 个原子体积浓度为
1/(5.43*10-8)3*8 = 5*1022cm-3 表面浓度与晶格方向有关，(1 0 0
)面的单位晶格内有 1 + 4*1/4 = 2 个原子(1 0 0 )面表面浓度为
