制造笔记
刻蚀极致工艺——光刻(烧脑篇)
转自:微信公众号 显示汇,微信号Display_Sea光刻机分为紫外光源(UV)、深紫外光源(DUV)、极紫外光源(EUV)。按照发展轨迹,最早的光刻机光源即为汞灯产生的紫外光源(UV)。之后行业领域内采用准分子激光的深紫外光源(DUV),将波长进一步缩小到ArF的193 nm。由于遇到了技术发展障碍,ArF加浸入技术成为主流。想当年整个芯片工业,各家包括intel ,GF, 台积电,三星都在三星
所谓的High K工艺用的是什么?
所谓的High K工艺用的是什么?请问各位大神知道High-K和Low-K最新的制作工艺主要是用什么工艺么?PVE?ECD?我看last Gate工艺流程的提到的离子注入用的具体又是什么方法?为什么由于离子注入,first Gate工艺流程中的Gate contact会受到加热,从而影响性能?另外我记得好像一两年前High-K和Low-K还是不能做到一个芯片里的,虽然把他们一起运用理论上会得到更好
半导体行业入门学习笔记分享
硅片的制备:生产半导体级的硅(SGS)1. 用碳加热硅石制备冶金级的硅 SiC(s)+SiO2(s)——Si(l)+SiO(g)+CO(g)2. 将硅提纯生成三氯硅烷 Si(s)+3HCI(g)——SiHCI3(g)+H2(g)+加热3
半导体,芯片公司入门第一课(视频)
导电性能介于半导体和绝缘体之间得材料,叫做半导体。最常用得半导体材料是硅和锗。半导体最重要得性质之一就是:能够由一种叫做掺杂得步骤,刻意加入某种杂质并应用电场来控制其导电性。