制造工艺技术

揭秘半导体制造全流程

当听到“半导体”这个词时,你会想到什么?它听起来复杂且遥远,但其实已经渗透到我们生活的各个方面:从智能手机、笔记本电脑、信用卡到地铁,我们日常生活所依赖的各种物品都用到了半导体。每个半导体产品的制造都需要数百个工艺,泛林集团将整个制造过程分为八个步骤:晶圆加工-氧化-光刻-刻蚀-薄膜沉积-互连-测试-封装。为帮助大家了解和认识半导体及相关工艺,我们将以三期微信推送,为大家逐一介绍上述每个步骤。

什么是High-K?

由于二氧化硅(SiO2)具有易制性 (Manufacturability),且能减少厚度以持续改善晶体管效能,因此过去40余年来,处理器厂商均采用二氧化硅做为制作栅极电介质的材料。。 High-K究竟是什么神奇的技术?这要从处理器的制造原料说起。由于二氧化硅(SiO2)具有易制性 (Manufacturability),且能减少厚度以持续改善晶体管效能,因此过去40余年来,处理

MOS器件的深度解析 (转)

本文转自芯苑,ic-garden.cn (由于芯苑会经常关闭站点,故转载存留)前面几节几乎从结构上介绍了MOS的原理和特性,但是随着尺寸越来越小,电压越来越,很多我们可以忽略的寄生特性(Parisitic)以及我们称之为二级效应的关注点开始变得不可忽略,今天我们就来聊一聊吧。1. 衬偏效应(Body Effect):我们在看MOSFET都是把source和Bulk短接在一起,所以我们忽略了Bulk

一文看懂IGBT(转)

IGBT(绝缘栅双极型晶体管),是由 BJT(双极结型晶体三极管) 和 MOS(绝缘栅型场效应管) 组成的复合全控型-电压驱动式-功率半导体器件,其具有自关断的特征。简单讲,是一个非通即断的开关,IGBT没有放大电压的功能,导通时可以看做导线,断开时当做开路。IGBT融合了BJT和MOSFET的两种器件的优点,如驱动功率小和饱和压降低等。IGBT模块是由IGBT与FWD(续流二极管芯片)通过特定的

如何查Vt shift的Case?MOSFET开启电压(Vt)的制程因素!(转)

本文转自芯苑,ic-garden.cn (由于芯苑会经常关闭站点,故转载存留)很久没有写文章了,客观原因是电脑坏了,主观原因是不知道写什么。类似我们的学习,我们很想好好学习,很想像某人一样功成名就,每个人都是上进的,科学的方法和明确的计划才是最重要的。看来我的反思如何把《芯苑》走的更远,希望大家能够给我些建议,我自己蠢就得求助你们!好了,先把今天的课题讲完吧,前面很长一段时间都在讲栅极 (栅极材料

CMOS器件历史浅析–扫盲版 (转)

本文转自芯苑,ic-garden.cn (由于芯苑会经常关闭站点,故转载存留)编者注:这个只适用于没有基础的common course,如果大家了解的话直接跳过,不过可以简单看看发展史吧。上一章节我们讲过BJT Device,如果大家还记得的话,它应该电流工作型器件,而且是双载流子(Hole/Electron)同时工作的。所以它通常用于电流或功率放大型,或者用于高速器件(ECL: Emmitter

对Fab PIE 的最确切解读

        谨以此帖献给那些在Fab 拼搏的PE和EE们.其实PIE也是不容易的!PIE确实不容易,这句话作为开场白。        很多人都想做PIE,包括应届生,有经验的module,我想原因很简单,在fab中,PIE学到

后FinFET时代,晶体管将走向何方?

编者按:进入最近两个月,因为三星3nm的大进步,还有台积电宣布在5nm乃至3nm进展,2nm规划,这就引发了大家对晶体管未来的担忧。那么究竟到了1nm之后,制程世界需要怎样的支持?未来的工艺技术又会走向何方?我们来看一下IMEC专家的分享。FinFET晶体管结构是当今半导体行业的主力。但是,随着微缩的继续,人们不希望出现的短沟道效应需要引入新的晶体管结构。在本文中,imec的3D混合微缩项目主管J

《Silicidation》-难熔金属硅化(转)

本文转自芯苑,ic-garden.cn (由于芯苑会经常关闭站点,故转载存留) 随着半导体线宽的等比例缩小,从微米级到深亚微米到纳米级,由于R*C delay带来的延迟已经超过器件栅极延迟,所以电路的工作速度限制已经无法忍受,所以一条方法就是降低互连电容,比如后段介质层用Low-K的FSG等,那另外一条路就是降低互连电阻,比如90nm的时候后段就开始用铜制程了,就是这个purpose,当