制造工艺技术

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专题-5: Unit Process–Diffusion(扩散) （转）

本文转自芯苑，ic-garden.cn （由于芯苑会经常关闭站点，故转载存留）     很久没有讲制造了，今天继续吧。发现我这个人老没逻辑了，想起一出是一出，大家多多包涵或给我建议。今天的主题是扩散(diffusion)，也有说炉管的，因为这个process都是要用到炉管的(那时候开玩笑说我是烧炉子的，就是干这个的。我刚毕业做过几个月这个，因为没有

制造工艺技术 2019年07月13日 676 点赞 0 评论 20455 浏览

炉管(Furnace)设备工艺经验8年笔记

Furnace IntroductionØFurnace concept（炉管基本介绍）ØFurnace Type （炉管的分类）ØWafer transfer system （炉管传送系统介绍）ØProcess application(工艺应用); AP and LP Recipe body ；Furnace Gas Flow; Profile log（温

制造工艺技术 2021年01月30日 384 点赞 1 评论 12894 浏览

专题-4: Unit Process–Etch(蚀刻) （转）

编者注: Etch是PIE不得不好好学习的课程，玄机太多了。我曾经花太多时间研究这玩意，结果连皮毛都碰不上，每次跟人家讨论还是云里雾里~~~感谢Joph Chen，曾经的ETCH专家。如果把黄光比作是拍照，那他就是完成了底片的功能，还需要蚀刻来帮忙把底片的图像转移到Wafer上。蚀刻通常分为Wet Etch(湿蚀刻)和Dry Etch (干蚀刻)，湿蚀刻主要各向同性蚀刻(Isotropic)，所以

制造工艺技术 2019年07月13日 35 点赞 0 评论 10411 浏览

半导体应聘专用英语(含资源下载)

                半导体行业入门 单词集锦；可能有些小伙伴还不知道，半导体行业在整个电子制造行业，技术是比较高精尖的，涉及的领域众多，制造步骤繁琐，有时候我们沟通交流时刻意把它转化成中午会有点失去它本来的意义，故在这个行业多半是中文和英文混着说，以至于想去

制造工艺技术 2019年06月21日 156 点赞 1 评论 9970 浏览

专题-2: Unit Process–ThinFilm（转）

本文转自芯苑，ic-garden.cn （由于芯苑会经常关闭站点，故转载存留） ThinFilm(薄膜)主要包含CVD和PVD，CVD（Chemical Vapor Deposition)主要依靠反应气体在等离子体电离能量下，化学分解反应，主要用语后端温度比较低(~400,450C)。而PVD(Physical Vapor Deposition)主要是用来金属沉积，因为很少有金属的气态化

制造工艺技术 2019年07月13日 23 点赞 0 评论 9669 浏览

FinFET简介（转）

FinFETFinFET简介FinFET称为鳍式场效晶体管(FinField-EffectTransistor；FinFET)是一种新的互补式金氧半导体(CMOS)晶体管。闸长已可小于25奈米。该项技术的发明人是加州大学伯克利分校的胡正明教授。Fin是鱼鳍的意思，FinFET命名根据晶体管的形状与鱼鳍的相似性。发明人该项技术的发明人是加州大学伯克利分校的胡正明（ChenmingHu）教授[1]。胡

制造工艺技术 2019年06月19日 155 点赞 0 评论 9484 浏览

一张图看穿PIE，大家来挑战 (转)

Flow: Well-->GOX-->POLY-->LDD/Halo-->Spacer-->S/D_IM-->S/D_Anneal

制造工艺技术 2019年07月13日 56 点赞 0 评论 8804 浏览

专题-1(Adv): Unit Process–Lithography (微影制程) （转）

 本文转自芯苑，ic-garden.cn （由于芯苑会经常关闭站点，故转载存留） 最早的《专题1》讲的是光刻入门，其实就是个概念。后面逐渐各项制程都慢慢进入第二轮稍微深入一点，希望能够把书本理论讲完吧。黄光我做的比较少，还是以前调机的时候David天天逼着我去搞Nikon G7，还要拿个摇杆手动对位，X,Y, Theta无聊死了~~不过老板每次都要考核，所以还是好好学习吧，至少

制造工艺技术 2019年07月13日 34 点赞 0 评论 8686 浏览

栅极材料的革命 (Gate Electrode) （转）

本文转自芯苑，ic-garden.cn （由于芯苑会经常关闭站点，故转载存留）半导体制程技术的发展最为曲折离奇的故事应该算是栅极了，从MOSFET (Metal Oxide Semiconductor)的第一个字母我们就知道曾经的曾经这个栅极材料还是Metal Gate呢，可是现在8寸的主流又是Poly Gate了，到了12寸的45nm以下又还原到Metal Gate了，真正上演了佛家的前世轮回因

制造工艺技术 2021年06月15日 126 点赞 0 评论 8199 浏览

Moore’s Law: 浓缩就是精华！（转）

本文转自芯苑，ic-garden.cn （由于芯苑会经常关闭站点，故转载存留）         但凡对半导体这个行业有点了解的，应该都懂摩尔定律(Moore's Law)，这也是个魔咒。这是70年代Intel创始人Gordon Moore在60年代提出来的黄金定律，被业界遵循为黄金定律，也是从那个年代开始我们

制造工艺技术 2019年07月13日 35 点赞 0 评论 8176 浏览