制造工艺技术

什么是High-K?

由于二氧化硅(SiO2)具有易制性 (Manufacturability),且能减少厚度以持续改善晶体管效能,因此过去40余年来,处理器厂商均采用二氧化硅做为制作栅极电介质的材料。。 High-K究竟是什么神奇的技术?这要从处理器的制造原料说起。由于二氧化硅(SiO2)具有易制性 (Manufacturability),且能减少厚度以持续改善晶体管效能,因此过去40余年来,处理

揭秘半导体制造全流程

当听到“半导体”这个词时,你会想到什么?它听起来复杂且遥远,但其实已经渗透到我们生活的各个方面:从智能手机、笔记本电脑、信用卡到地铁,我们日常生活所依赖的各种物品都用到了半导体。每个半导体产品的制造都需要数百个工艺,泛林集团将整个制造过程分为八个步骤:晶圆加工-氧化-光刻-刻蚀-薄膜沉积-互连-测试-封装。为帮助大家了解和认识半导体及相关工艺,我们将以三期微信推送,为大家逐一介绍上述每个步骤。

0.18um LOGIC FLOW 问题参考答案

ZERO OXIDE 的作用是什么? 第一是为后序的ZERO PHOTO时做PR的隔离,防止PR直接与Si接触,造成污染。 PR中所含的有机物很难清洗。 第二,WAFTER MARK是用激光来打的,在Si表面引致的融渣会落在OXIDE上,不 会对衬底造成损伤。 第三是通过高温过程改变Si表面清洁度。

PECVD SiNx 薄膜应力的研究(含文档下载)

PECVD SiNx 薄膜应力的研究摘要 等离子增强化学气相淀积(P lasma2enhanced Chem ical V aper Depo sit ion, PECVD )SiN x 薄膜在微电子和微机械领域的应用越来越重要. 它的一个重要的物理参数—— 机械应力, 也逐渐被人们所重视. 本文研究了应力跟一些基本的淀积条件如温度、压力、气体流量等之间的关系. 讨论了应力产生的原因以及

晶圆代工争霸战 第一篇

现代科技不断革新,网路平台与云端运算背后,仰赖著上千台电脑伺服器相互连结;智慧型手机除了能登录网页与多样化的应用程式,未来更能支援扩增实境 (AR)、3D影像、支付等功能;除此之外还有感测元件、智慧家庭、穿戴式装置、自动车…。

什么是MOS管?MOS管结构原理图解(应用_优势_三个极代表)

mos管是金属(metal)—氧化物(oxide)—半导体(semiconductor)场效应晶体管,或者称是金属—绝缘体(insulator)—半导体。MOS管的source和drain是可以对调的,他们都是在P型backgate中形成的N型区。在多数情况下,这个两个区是一样的,即使两端对调也不会影响器件的性能。这样的器件被认为是对称的。

半导体物理问答

第一篇 半导体中的电子状态 第二篇 习题-半导体中的杂质和缺陷能级第三篇  习题-半导体中载流子的统计分布第四篇 习题-半导体的导电性第五篇 习题 非平衡载流子半导体芯片制造中级工复习题下载地址:

CPU芯片生产工艺 制作流程

1》由沙到晶圆,CPU诞生全过程2》沙中含有25%的硅,是地壳中第二多元素,在经过氧化之后就成为了二氧化硅,在沙,尤其是石英中二氧化硅的含量非常高,这就是制造半导体的基础。3》在采购原材料沙子后,将其中的硅进行分离,多余的材料被废弃,再经过多个步骤进行提纯,以最终达到符合半导体制造的质量,这就是所谓的电子级硅。它的纯度是非常大的,每10亿个硅原子中只有一个是不符合要求的。经过净化过程,硅进入融化阶

专题-1: Unit Process–Photolithography (转)

本文转自芯苑,ic-garden.cn (由于芯苑会经常关闭站点,故转载存留) 随着半导体特征尺寸(Moore's Law)下降,需要越来越小的波长得到更小的曝光线宽(大波长容易衍射)。5、6寸时代都是g-line/i-line,8寸开始i-line/DUV了。HMDS是一种蒸汽,在Coat光阻之前必须在HMDS蒸气中熏一会,有助于光阻的表面粘附性(Contact Angle),Coat