CMP 研磨液(Slurry)浅谈【转】
化学机械平坦化:CMP(Chemical-Mechanical Planarization)Slurry:英语名词,译为“泥浆,悬浮液”少量食盐融化到水中,形成均匀稳定的分散体系,是为溶液泥土搅拌到水中,并不是被溶解,仅是分散在其中,一旦混合物停止振荡,就会沉淀,这种不均匀的、异质的混合物,称之为悬浮液 悬浮液 是一种非均相体系,由含大量分子的颗粒悬于液体中形成,固体颗粒
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