CMP

CMP 研磨液(Slurry)浅谈【转】

化学机械平坦化:CMP(Chemical-Mechanical Planarization)Slurry:英语名词,译为“泥浆,悬浮液”少量食盐融化到水中,形成均匀稳定的分散体系,是为溶液泥土搅拌到水中,并不是被溶解,仅是分散在其中,一旦混合物停止振荡,就会沉淀,这种不均匀的、异质的混合物,称之为悬浮液 悬浮液 是一种非均相体系,由含大量分子的颗粒悬于液体中形成,固体颗粒

【芯片】我在中芯国际的往事&中芯国际深度解析

导读:以下评论来自我们会员投的芯片公司创始人。这个产业需要技术/人/时间的积淀,很难跨越式发展。他们也是在摸索了数年,交了很多辆奔驰车的学费之后,才做出了细分领域唯一能量产交货的产线。真正跑过芯片线都会像这篇文章一样体会到:芯片制造最重要的要素就是协作!协作!协作!这也是中国做芯片生产最难!最难!最难掌握的核心技术,没有之一!生产一片wafer,需要近百号人,上百道工序,一个月不分昼夜,一“纳”不

【芯片】我在中芯国际的往事&中芯国际深度解析

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专题-2: Unit Process–ThinFilm(转)

本文转自芯苑,ic-garden.cn (由于芯苑会经常关闭站点,故转载存留) ThinFilm(薄膜)主要包含CVD和PVD,CVD(Chemical Vapor Deposition)主要依靠反应气体在等离子体电离能量下,化学分解反应,主要用语后端温度比较低(~400,450C)。而PVD(Physical Vapor Deposition)主要是用来金属沉积,因为很少有金属的气态化