Furnace

芯片制造工艺问答027:Gate oxide对产品影响的参数有哪些?

MOSFET(以下简称MOS管)是集成电路芯片的基本组成单元之一,由金属(M)-氧化物(O)-半导体(S)组成。如今Gate材料多用多晶硅(Poly-Si)材料了,为了进一步降低中间氧化层的厚度也用上了HfO2等High-K材料,不过大家还是习惯称其为MOS管。一个典型的MOS管有三个端子,即栅极(Gate)、源极(Source)和漏极(Drain)。MOSFET的操作原理并不复杂,简单来说就是一

炉管(Furnace)设备工艺经验8年笔记

Furnace IntroductionØFurnace concept(炉管基本介绍)ØFurnace Type (炉管的分类)ØWafer transfer system (炉管传送系统介绍)ØProcess application(工艺应用); AP and LP Recipe body ;Furnace Gas Flow; Profile log(温

ASM Furnace,先晶半导体立式炉管介绍(含ppt附件)

先晶半导体设备(上海)有限公司是一家外商独资企业,隶属于ASM International N.V.它的总部设在比尔特霍芬,荷兰。ASM国际及其附属公司通过其在美国,欧洲,日本和美国的工厂提供晶圆加工,组装和包装的生产解决方案。公司拥有强大的技术基础,一流的生产设备,合格的员工队伍和训练有素的战略性分销网络。ASM中国有限公司成立于2001,专注于前端半导体设备市场在中国。WIP StationW