炉管(Furnace)设备工艺经验8年笔记 Furnace IntroductionØFurnace concept（炉管基本介绍）ØFurnace Type （炉管的分类）ØWafer transfer system （炉管传送系统介绍）ØProcess application(工艺应用); AP and LP Recipe body ；Furnace Gas Flow; Profile log（温 制造工艺技术 2021年01月30日 389 点赞 1 评论 14125 浏览
专题-5: Unit Process–Diffusion(扩散) （转） 本文转自芯苑，ic-garden.cn （由于芯苑会经常关闭站点，故转载存留） 很久没有讲制造了，今天继续吧。发现我这个人老没逻辑了，想起一出是一出，大家多多包涵或给我建议。今天的主题是扩散(diffusion)，也有说炉管的，因为这个process都是要用到炉管的(那时候开玩笑说我是烧炉子的，就是干这个的。我刚毕业做过几个月这个，因为没有 制造工艺技术 2019年07月13日 676 点赞 0 评论 20798 浏览
