芯片制造工艺问答019:ODR光罩和OD光罩有何关系? 试画图解释之.
Ans ODR之用途在于减少CMP时之loading effect. ODR和OD光罩之关系式如下: ODR(121)=(((120
sizing –0.4) sizing 0.4) sizing –0.2)if
OD< 0.4um OD (yellow color) will be regarded as